أصبحت الأنظمة السيبرانية الفيزيائية (CPS) متكاملة بشكل متزايد في مختلف القطاعات الحيوية، بما في ذلك الرعاية الصحية، والنقل، والأتمتة الصناعية. ومع تطور هذه الأنظمة، تزداد الحاجة المُلحة لآليات أمنية قوية. وقد ظهر كشف الشذوذ كتقنية حاسمة لتحديد الأنشطة الخبيثة والإخفاقات المحتملة في هذه الأنظمة. تستكشف هذه الورقة البحثية تقنيات كشف الشذوذ الرئيسية المستخدمة لتأمين الأنظمة السيبرانية الفيزيائية، مع التركيز على النهج الإحصائية، وتعلم الآلة، والتعلم العميق. ويسلط هذا الاستعراض الضوء على تطبيقاتها، ونقاط قوتها، والتحديات التي تواجهها، كما يناقش الاتجاهات المستقبلية المحتملة لتعزيز أمن هذه الأنظمة في مواجهة التهديدات السيبرانية المتطورة.